睿勵科學儀器（上海）有限公司睿勵科學儀器

睿勵科學儀器是一家集成電路工藝檢測設備供應商，從事集成電路生產制造工藝檢測設備的開發和研制，為用戶提供光學測量設備、光學關鍵尺寸分析系統、鎵液態離子源、缺陷檢測、等離子體灰化等產品，廣泛用于科學儀器、微電子等領域，目前擁有的主要產品包括光學檢測設備、硅片厚度及翹曲測量設備及子公司宏觀缺陷檢測設備等。