合肥芯碁微電子裝備股份有限公司芯碁微裝

合肥芯碁微電子裝備股份有限公司(簡稱：芯碁微裝)，成立于2015年6月，注冊資本9059萬元，坐落于合肥市高新區集成電路產業基地，公司專業從事以微納直寫光刻為技術核心的直接成像設備及直寫光刻設備的研發和生產。主要產品及服務包括PCB直接成像設備及自動線系統、泛半導體直寫光刻設備及自動線系統、其他激光直接成像設備。