中芯晶圓股權投資(上海)有限公司成立于2014年,由中芯聚源股權投資管理(上海)有限公司負責管理。該基金經營期限為15年,主要投資于集成電路相關產業以及相關戰略新興產業(如節能環保、信息技術和新能源等)。