中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司中科儀

中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司成立于2001年4月18日。2014年7月16日，中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司掛牌。

中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司是一家集真空儀器裝置研發、生產、銷售、服務為一體的高科技企業。公司以高真空、超高真空、潔凈真空技術為基礎，主要研發生產各類薄膜材料制備設備、納米材料制備設備、真空冶金設備、單晶爐、太陽能光伏設備、集成電路裝備、大科學工程裝備、無油真空獲得及系統集成。